|
|
Progressive Amorphous Carbon Alloys Synthesized in Low-Temperature Plasma
Bránecký, Martin ; Trunec, David (oponent) ; Kylián,, Ondřej (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Atomic/plasma polymerization technology is widely used in various technical fields. This work is focused to use the PE-CVD technology in the field of formation of interphase and adhesive layers, which are developed into layered nanostructures. To ensure reproducible chemical and physical properties of the materials, the deposition process was monitored by mass spectrometry. Vapours of the pure tetravinylsilane, or a mixture of these vapours with oxygen, was used as a precursor for atomic polymerization, which results in the thin films with a large variability of properties. Physical and chemical properties were varied by the effective power delivered to the plasma discharge. The deposited films were analyzed from different perspectives using several methods (in situ spectroscopic ellipsometry, FTIR, nanoindentation, AFM). The removal of hydrogen atoms from the carbon-silicon network results in increased crosslinking of the material, which controls the mechanical and optical properties of the deposited layers. From the precisely defined a-CSi:H and a-CSiO:H materials, layered nanostructures composed of 3 and 7 individual layers was subsequently constructed. These nanostructures were analyzed by XPS and RBS to determine the atomic concentrations of carbon, silicon, oxygen and their binding states.
|
|
|
Funkční organicko-anorganické nanostruktury
Kelíšek, Petr ; Zmeškal, Oldřich (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá přípravou vrstevnatých organicko-anorganických nanostruktur pomocí technologie PECVD a analýzou optických vlastností těchto vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie. Teoretická část práce se zabývá popisem tenkých vrstev, vrstevnatých a gradientních multivrstev, plazmochemickou depozicí z plynné fáze a principy spektroskopické elipsometrie. V experimentální části jsou popsány použité materiály a chemikálie, dále je kompletně popsána aparatura použitá k přípravě vzorků vrstev a postup přípravy vzorků. Výsledková část práce sestává z metodiky přípravy materiálových modelů nezbytných pro elipsometrická měření a vyhodnocení optických vlastností deponovaných nanovrstev.
|
|
|
Progressive Amorphous Carbon Alloys Synthesized in Low-Temperature Plasma
Bránecký, Martin ; Trunec, David (oponent) ; Kylián,, Ondřej (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Atomic/plasma polymerization technology is widely used in various technical fields. This work is focused to use the PE-CVD technology in the field of formation of interphase and adhesive layers, which are developed into layered nanostructures. To ensure reproducible chemical and physical properties of the materials, the deposition process was monitored by mass spectrometry. Vapours of the pure tetravinylsilane, or a mixture of these vapours with oxygen, was used as a precursor for atomic polymerization, which results in the thin films with a large variability of properties. Physical and chemical properties were varied by the effective power delivered to the plasma discharge. The deposited films were analyzed from different perspectives using several methods (in situ spectroscopic ellipsometry, FTIR, nanoindentation, AFM). The removal of hydrogen atoms from the carbon-silicon network results in increased crosslinking of the material, which controls the mechanical and optical properties of the deposited layers. From the precisely defined a-CSi:H and a-CSiO:H materials, layered nanostructures composed of 3 and 7 individual layers was subsequently constructed. These nanostructures were analyzed by XPS and RBS to determine the atomic concentrations of carbon, silicon, oxygen and their binding states.
|
|
|
Funkční organicko-anorganické nanostruktury
Kelíšek, Petr ; Zmeškal, Oldřich (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá přípravou vrstevnatých organicko-anorganických nanostruktur pomocí technologie PECVD a analýzou optických vlastností těchto vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie. Teoretická část práce se zabývá popisem tenkých vrstev, vrstevnatých a gradientních multivrstev, plazmochemickou depozicí z plynné fáze a principy spektroskopické elipsometrie. V experimentální části jsou popsány použité materiály a chemikálie, dále je kompletně popsána aparatura použitá k přípravě vzorků vrstev a postup přípravy vzorků. Výsledková část práce sestává z metodiky přípravy materiálových modelů nezbytných pro elipsometrická měření a vyhodnocení optických vlastností deponovaných nanovrstev.
|
host ::
RSS.